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多功能真空校準裝置

日期: 2019-05-25 點擊: 247

  為滿足航天器熱試驗常用真空計及標準漏孔的校準需要,研制了多功能真空校準裝置。該裝置可用于進行熱偶真空計、壓阻規、電容薄膜真空規、潘寧規、熱陰極電離規等真空測量傳感器的校準,同時也可以用于滲透型真空漏孔的校準。裝置選用靜態比對法、動態比對法、質譜比對法設計建成,真空校準范圍為1.33×105 Pa~1×10-4 Pa,真空漏孔校準范圍為5×10-5~5×10-9 Pa·m3/s,裝置智能化水平高,操作簡便,適合真空規管的批量校準。

  隨著我國空間科學技術的發展,真空測量技術也得到長足進步,已廣泛應用在航空航天、電氣電子、石油化工等行業。特別是我國載人飛船、登月工程、火星探測等一系列國防新領域的飛速發展,對真空測量提出了更高的要求,相應的高精度、高可靠性的真空計量校準需求也應運而生。

  傳統的實驗室真空校準裝置大多系統設計復雜,研制費用高,校準耗時長,無法滿足航天器研制任務的需要。本文研制了一套多功能真空校準裝置,該裝置選用靜態比對法、動態比對法以及質譜比對法的校準原理研制而成,通過設計不同量程的電容薄膜規組成標準規組的方法,解決了單一標準規在滿量程范圍內精度偏差的問題。裝置具有操作簡易,自動化程度高,可批量校準等特點,裝置校準范圍既覆蓋了航天領域主要真空校準需求,又具有研制成本低,綜合性價比高的優點。

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